Oxydation, procédés d'oxydation complexes
Par irradiation avec le VUV, les "anciennes" liaisons chimiques se dissocient, de nouvelles liaisons peuvent être absorbées. Ainsi, dans ce processus, par exemple l'air ou pur oxygène génèrent très efficacement de l'ozone et des radicaux libres d'oxygène qui peuvent à leur tour oxyder d'autres substances. Les «déchets» résultants, le CO2 et le H2O (eau), sont non toxiques et volatils.
Puisque l'énergie de 7,2 eV des photons n'étant pas suffisante pour scinder les molécules d'azote N2, aucun oxyde d'azote toxique NOx ne peut apparaître, comme ils se produisent dans de nombreux processus plasmatiques. L'azote peut donc être utilisé comme gaz de purge.
La combinaison de l'ozone et du rayonnement UV a un effet très oxydant, car non seulement l'énergie de liaison de l'ozone, mais également l'énergie radiante, sont disponibles simultanément. C'est par exemple intéressant pour le traitement des semi-conducteurs ou l’oxydation. Cela peut produire des couches d'oxyde haute densité à basse température par exemple.
Nettoyage, activation et désinfection d'une surface![Xeradex blau]()
Le transport, le stockage et, surtout, les processus de production laissent des traces sur les surfaces adjacentes. Ceux-ci peuvent être des adhérences à l'eau, ainsi que des produits organiques tels que des graisses, de l'huile ou des agents de démoulage.
Les surfaces contaminées doivent souvent être débarrassées de cette couche pour un traitement ultérieur. Cela peut être l'agent de démoulage dans la production de plastique ainsi que la pellicule d'eau dans la fabrication de semi-conducteurs. Ceci est possible avec le rayonnement VUV sur une grande surface.
D’autres surfaces collées ou imprimées par exemple doivent être préparées en conséquence pour que l'adhésif, le revêtement en plastique ou la peinture adhère et s'y étale bien. Cette augmentation de l'énergie de surface est également possible sur une grande surface avec un rayonnement VUV.
- opération à pression normale
- à température normale
- sans utilisation de solvants, primer ou d'agents de nettoyage (pas de produits chimiques, pas de déchets toxiques)
- lors d'utilisation dans l'air pas de NOx
- nombreuses possibilités d'applications: convient aux écrans LCD ainsi qu'aux cellules solaires ou à diverses matières plastiques
- Doux en surface (pas de perte de matière)
- procédé simple, aucun procédé secondaire (tel que le post-traitement) n'est nécessaire
- donc économique en temps et en énergie
Durcissement et matage des peintures (polymérisation)
Le matage de revêtements d'acrylate à durcissement UV utilisant des agents de matage pose diverses difficultés. Ainsi, des additions plus importantes d'agents de matité augmentent excessivement la viscosité. Des niveaux de brillance très faibles sont ainsi impossibles d'atteindre. Ici, le rayonnement excimère à 172 nm offre une alternative.
Le rayonnement de 172 nm ne pénètre que dans la couche externe la plus fine d'une peinture fraîchement appliquée et la rétrécit par polymérisation. Ensuite, toute la couche est endurcie par un rayonnement UV à ondes plus longues (entre 200 à 400 nm).
Il en résulte une vue microscopique d'une surface "drapée" qui atteint des niveaux de brillance très faibles et possède également d'excellentes propriétés haptiques.